昨天，国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和角度离子注入机”通过项目验收，其业主企业北京北方微电子公司、北京中科信公司与中芯国际分别签订了刻蚀机和角度离子注入机的批量采购合同。 
    据介绍，该项目的考核测试结论表明，国产刻蚀机与注入机的设备设计参数、硬件性能参数、工艺基本参数等设备技术指标，均达到国际同类130－100nm生产设备标准。同时，此次采购合同的鉴定是国内集成电路设备企业第一次成为主流生产厂的供应商，从而实现国内集成电路制造装备的重大技术跨越。
    据统计，到2010年，中国集成电路产业投资累计将达到3500亿元，其中大部分将用于集成电路制造装备投资，这一趋势使中国市场正在成为全球集成电路制造装备业竞争的焦点。