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企业动态:夏普公布可削减制造成本50%的晶圆制造方法
来源: SEMI   时间: 2008-9-8 5:44:43    

  夏普发表了可将制造成本减半的晶圆制造方法:“New Wafer Technology for Crystalline Sillicon Solar Cell。”该公司已建立了使用传送带等的自动化生产线,称其为“量产水平的技术”。

  制造方法如下。首先,令底板与熔化的硅接触,使硅附着在底板表面。之后,将附着的硅剥离,并以激光切削剥离的片状硅的周围部分,使成合适的尺寸。而激光切削下来的硅可熔化再利用。发布时用视频演示了制造过程,但没有公开剥离附着硅的方法。

  该方法的开发历时10年,产品的外形尺寸达156mm×156mm,产量高达1825cm2/分。每8秒钟就可以制造一片晶圆。晶圆厚300μm。制造成本仅为现有铸造法制造的约200μm厚晶圆的50%。转换效率在2006年就已达到14.8%。现在的转换效率值没有公开,但表示,由42片晶圆组成的模块的最大输出功率达到了144W。

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